LCP-25 Eksperimental Ellipsometr
Giriş
Əl elliptik polarimetr filmin qalınlığını və qırılma indeksini ölçmək üçün sönmə metodundan istifadə edir və test prosesinin sapma və sapma bucağını əl ilə tənzimləyir. Ellipsometriya qatı substratda dielektrik nazik filmin ölçülməsində geniş istifadə olunur. Filmin qalınlığını ölçmə metodunda ən incə və ən yüksək dəqiqliyə qədər ölçülə bilər.
Xüsusiyyətlər
| Təsvir | Xüsusiyyətlər |
| Qalınlıq Ölçmə Aralığı | 1 nm ~ 300 nm |
| Hadisə bucağı | 30º ~ 90º, Xəta ≤ 0,1º |
| Polarizator və Analizatorların kəsişmə bucağı | 0º ~ 180º |
| Disk açısal ölçüsü | Tərəzi başına 2º |
| Min. Vernier oxunuşu | 0.05º |
| Optik Mərkəz Boyu | 152 mm |
| İş Mərhələ Çapı | Φ 50 mm |
| Ümumi ölçülər | 730x230x290 mm |
| Çəki | Təxminən 20 kq |
Hissə siyahısı
| Təsvir | Miqdarı |
| Ellipsometr vahidi | 1 |
| He-Ne Lazer | 1 |
| Fotoelektrik gücləndirici | 1 |
| Şəkil hüceyrəsi | 1 |
| Silisium substratdakı silisium filmi | 1 |
| Analiz proqramı CD | 1 |
| Təlimat | 1 |
Mesajınızı buraya yazın və bizə göndərin
